洁净室
洁净室概述
洁净室几乎用于每个行业，在这些行业中小颗粒会对生产过程产生不利影响。它们的大小和复杂性各不相同，并广泛用于半导体制造，制药，生物技术，医疗设备和生命科学等行业，以及航空航天，光学，军事和能源部常见的关键过程制造。
洁净室检测是指在给定的任何封闭空间中采取措施以减少微粒污染并控制其他环境参数，例如温度，湿度和压力。关键组件是高效微粒空气（HEPA）过滤器，该过滤器用于捕集0.3微米及更大尺寸的颗粒。输送到洁净室的所有空气均通过HEPA过滤器，在某些情况下，需要严格的清洁性能时，应使用超低颗粒空气（ULPA）过滤器。
选择在洁净室工作的人员接受了污染控制理论的广泛培训。他们通过气闸室，空气淋浴间和/或更衣室进入和离开洁净室，并且他们必须穿着专门设计的衣服，以捕获皮肤和身体自然产生的污染物。
洁净室衣物用于防止物质从穿戴者身上释放出来并污染环境。洁净室衣物本身不得释放颗粒或纤维，以防止人员污染环境。这种人员污染可能会降低半导体和制药行业的产品性能，并且可能导致医疗人员与医疗行业患者之间的交叉感染。
洁净室气流原理
洁净室通过使用采用层流或湍流气流原理的HEPA或ULPA过滤器来保持无颗粒的空气。层流或单向气流系统将经过过滤的空气以恒定的气流向下引导。通常在100％的天花板上采用层流气流系统，以保持恒定的单向气流。层流标准通常在便携式工作站（LF通风橱）中规定，并在ISO-1至ISO-4分类的洁净室中强制执行。
正确的洁净室设计应涵盖整个空气分配系统，包括为下游提供充足的回风的规定。在垂直流动室中，这意味着在该区域的周围使用低壁的空气回流。在水平流应用中，需要在过程的下游边界使用回风。使用天花板安装的回风与正确的洁净室系统设计相矛盾。
洁净室分类
洁净室按空气清洁程度分类。在美国的联邦标准209（A至D）中，在1立方英尺的空气中测量等于或大于0.5µm的颗粒数，并将此计数用于对洁净室进行分类。新的209E版本标准也接受此度量标准术语。联邦标准209E在国内使用。较新的标准是来自标准组织的TC 209。两种标准均根据实验室空气中发现的颗粒数量对洁净室进行分类。洁净室分类标准FS 209E和ISO 14644-1要求进行特定的颗粒计数测量和计算，以对洁净室或洁净区域的洁净度等级进行分类。在英国，英国标准5295用于对洁净室进行分类。该标准将被BS EN ISO 14644-1取代。
洁净室是根据每单位空气中允许的颗粒数量和大小进行分类的。较大的数字（例如“ 100级”或“ 1000级”）是指FED_STD-209E，表示每立方英尺空气允许的尺寸为0.5 µm或更大的颗粒数。该标准还允许插值，因此可以描述“ 2000级”。
较小的数字表示ISO 14644-1标准，该标准每立方米空气允许的0.1 µm或更大的粒子数的十进制对数。因此，例如，ISO 5级洁净室每立方米多可容纳105 = 100,000个颗粒。
FS 209E和ISO 14644-1都假定粒径和浓度之间的对数关系。因此，不存在零粒子浓度的情况。普通房间的空气约为1,000,000级或ISO 9。
ISO 14644-1洁净室标准
类 | 大颗粒/ m 3 |
| |||||
> = 0.1微米 | > = 0.2微米 | > = 0.3微米 | > = 0.5微米 | > = 1微米 | > = 5微米 | ||
ISO 1 | 10 | 2 |
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ISO 2 | 100 | 24 | 10 | 4 |
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ISO 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 |
| 1类 |
ISO 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 |
| 10级 |
ISO 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 | 100级 |
ISO 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 | 1,000级 |
ISO 7 |
|
|
| 352,000 | 83,200 | 2,930 | 10,000级 |
ISO 8 |
|
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| 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | 100,000级 |
ISO 9 |
|
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| 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 | 室内空气 |
BS 5295洁净室标准
| 大颗粒/ m 3 | ||||
类 | > = 0.5微米 | > = 1微米 | > = 5微米 | > = 10微米 | > = 25微米 |
1类 | 3,000 |
| 0 | 0 | 0 |
2级 | 30万 |
| 2,000 | 30 |
|
3级 |
| 1,000,000 | 20,000 | 4,000 | 300 |
4级 |
|
| 20,000 | 40,000 | 4,000 |
洁净室服务
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